產品特點
- 噪音低
- 集成控制系統(tǒng),可無人值守和遠程控制
工作范圍廣,在10Pa~10e5Pa范圍內抽速無衰減
典型應用
微電子、半導體、鋰電池行業(yè)、光伏產業(yè)、空間模擬、冶金系統(tǒng)、鍍膜、
電漿制程、制程氣體抽取、電子加工、生技/制藥、化工等行業(yè)
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其他
24小時內
工作范圍廣,在10Pa~10e5Pa范圍內抽速無衰減
微電子、半導體、鋰電池行業(yè)、光伏產業(yè)、空間模擬、冶金系統(tǒng)、鍍膜、
電漿制程、制程氣體抽取、電子加工、生技/制藥、化工等行業(yè)
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