東莞福運萊真空科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
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更新時間：2025-07-29 12:03:31瀏覽次數(shù)：29次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)磷源自動補液集中供源柜FLS-101AJ-06P
FLS-101AJ系列
磷源自動補液集中供源柜
用戶手冊
Ver. FLS202309
尊敬的用戶：
本手冊以六管補液為例，適用所有101AJ系列自動補液柜。
為了方便您使用，請仔細(xì)閱讀本手冊，并按手冊要求進(jìn)行操作。
由于產(chǎn)品的改進(jìn)和換代，您所使用的設(shè)備可能與手冊中介紹不一致，謹(jǐn)此致歉。
注意
在使用設(shè)備之前，請詳細(xì)閱讀使用手冊，并特別注意其中注意事項的內(nèi)容。
只有在使用、維護(hù)過程中嚴(yán)格遵照制造商的建議，才能使設(shè)備的性能達(dá)到設(shè)計的水準(zhǔn)。
嚴(yán)禁非專業(yè)人員在設(shè)備正常使用時非法進(jìn)行各類操作。
除非另有約定，本文檔僅作為使用指導(dǎo)，所有陳述、信息和建議不構(gòu)成任何明示或暗示的擔(dān)保。
目錄
一、設(shè)備簡介
1.1 結(jié)構(gòu)圖
1.2 二次配
1.3 功能
1.4 工作原理
1.5 使用環(huán)境
1.6 技術(shù)參數(shù)
二、系統(tǒng)畫面 4
2.1 首頁 4
2.2 恒溫控制 5
2.3 補液控制 6
2.4 參數(shù)設(shè)置 7
2.5 實時曲線 8
2.6 歷史曲線 9
2.7 補液記錄 10
2.8 報警記錄 11
三、設(shè)備操作 12
3.1 狀態(tài)指示 12
3.2 恒溫操作 12
3.3 補液操作 12
3.4 換源操作 12、13
3.5 檢漏操作 13
四、故障報警 14
4.1 恒溫故障 14
4.2 補液故障 15
五、注意事項 16
5.1 開機 16
5.2 停機 16
5.3 使用中 16
六、日常巡檢與檢修保養(yǎng) 17
6.1 日常巡檢 17
6.2 保養(yǎng)與檢修 17
七、應(yīng)急處理 17
? 設(shè)備電源： 交流220V、50Hz、約2KW。
? 空壓氣：6—8公斤壓力
? 氮氣：2-4公斤壓力
? 酸排管：90MM PE材質(zhì)
? 對柜內(nèi)大源液瓶恒溫儲存。
? 對柜內(nèi)6個小源瓶自動補液。
? 恒溫：通過PID控制制冷與制熱平衡來達(dá)到恒定溫度。
? 補液：利用氮氣壓力在密閉容器內(nèi)把液體向外擠出，通過連通的管路流向目標(biāo)容器。
? 地面平整，通風(fēng)良好。
? 周圍無強烈振動。
? 周圍無強電磁場影響。
? 周圍無易燃、易爆、腐蝕性物質(zhì)和粉塵。
? 周圍留有足夠的使用及維護(hù)空間。
? 環(huán)境溫度：10℃～45℃。
? 環(huán)境濕度：≤80%RH。
柜子 | 尺寸 | 1119（長）*707（寬）*2134（高） |
重量 | 約363kg | |
材質(zhì) | 內(nèi)置恒溫箱體 | SUS304#不銹鋼材料 |
設(shè)備外殼 | A3鋼板 + 噴塑 | |
觀察窗 | 內(nèi)嵌式雙層高透明防爆鋼化玻璃 | |
密封條 | 耐腐蝕高韌性橡膠密封條 | |
保溫層 | 高密度PU發(fā)泡與優(yōu)質(zhì)橡塑保溫棉 | |
電源 | 設(shè)備電源 | AC220V±10% 、50Hz |
預(yù)裝總功率 | 2.0kW | |
恒溫
| 溫度采集 | 鉑電阻（PT100） |
控溫范圍 | 10℃-45℃ | |
控溫精度 | ±0.2℃（靜態(tài)） | |
溫度波動度 | ≤0.3℃ | |
升溫速度 | ≥0.3℃/min | |
降溫速度 | ≥0.4℃/min | |
控溫方式 | PID控制 | |
制冷、加熱方式 | 壓縮機、PTC加熱器 | |
補液
| 重量采集 | 壓力傳感器 |
重量范圍 | 0~100kg | |
靜態(tài)重量誤差 | ±10g | |
動態(tài)重量誤差 | ±25g | |
補液精度 | ±10g | |
補液時間 | 3分鐘左右/次 | |
氣體 | 氣體異常響應(yīng)時間 | ≤60s |
排風(fēng) | 應(yīng)急排風(fēng)量 | 30m3/h |
? 用戶登錄：點擊登錄現(xiàn)有用戶賬號，屏幕右上角顯示當(dāng)前登錄“用戶名"；系統(tǒng)出廠自帶用戶賬號有（管理員、工程師、操作員），均無密碼選好用戶點擊登錄即可，用戶可根據(jù)需要自行創(chuàng)建密碼以及登錄注銷時間。
? 注意: 設(shè)備使用及操作應(yīng)使用賬號權(quán)限分配并做好管理，“管理員"賬號擁有權(quán)限應(yīng)由設(shè)備負(fù)責(zé)人掌管；自行創(chuàng)建的賬號密碼要記得，否則后續(xù)將無法登錄該賬號。
? 用戶注銷：點擊注銷當(dāng)前登錄的用戶賬號，屏幕右上角顯示當(dāng)前登錄“無用戶"。
? 用戶編輯：點擊修改、增加、刪除用戶賬號信息，操作前需要先登錄“管理員"賬號（擁有權(quán)限），不能刪除“管理員"賬號。
? 恒溫控制：點擊進(jìn)入恒溫控制畫面。
? 補液控制：點擊進(jìn)入補液控制畫面。
? 參數(shù)設(shè)置：點擊進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫。
? 實時曲線：點擊進(jìn)入實時曲線畫面。
? 歷史曲線：點擊進(jìn)入歷史曲線畫面。
? 補液記錄：點擊進(jìn)入補液記錄畫面。
? 報警記錄：點擊進(jìn)入報警記錄畫面。
? 所有子畫面屏保時間內(nèi)（預(yù)設(shè)3min，可在參數(shù)畫面修改）持續(xù)無操作均會退出返回到首頁畫面，然后息屏。
? 當(dāng)前溫度：顯示柜內(nèi)當(dāng)前溫度值。
? 設(shè)定溫度：顯示柜內(nèi)恒溫設(shè)定值（可在參數(shù)設(shè)置畫面修改）。
? 當(dāng)前氣體：顯示柜內(nèi)當(dāng)前三氯氧磷氣體檢測值。
? 報警氣體：顯示柜內(nèi)三氯氧磷氣體泄漏報警設(shè)定值（可在參數(shù)設(shè)置畫面修改）。
? 壓縮機、加熱、循環(huán)風(fēng)機 ：恒溫系統(tǒng)自動控制，不可手動啟/停操作。
? 風(fēng)閥：恒溫啟動瞬間閥自動關(guān)閉，后續(xù)可點擊圖標(biāo)手動開/關(guān)操作。恒溫運行中長時間打開閥門，會造成柜內(nèi)溫度流失同時也會產(chǎn)生很多冷凝水，手動打開閥門2min后會自動關(guān)閉，如需要可重復(fù)打開。
? 照明：恒溫啟動瞬間照明自動打開，后續(xù)可點擊圖標(biāo)手動開/關(guān)操作。
? 啟動：點擊啟動恒溫系統(tǒng)。
? 停止：點擊停止恒溫系統(tǒng)。
? 蜂鳴器開關(guān)：在設(shè)備有故障報警且短時間內(nèi)無法處理平息情況下進(jìn)行關(guān)閉止鬧，正常運行中請打開，能夠及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備故障。
? 氣體報警開關(guān)：柜內(nèi)氣體檢測及泄漏報警功能開關(guān)，正常運行中請打開，能夠及時發(fā)現(xiàn)氣體相關(guān)報警。如有氣體相關(guān)報警系統(tǒng)將無法自動補液，當(dāng)非氣體泄漏造成氣體相關(guān)報警時，為了不影響補液功能，可臨時關(guān)閉該開關(guān)，同時也要查明問題并處理。
? 定時排氣開關(guān)： 柜內(nèi)定時換氣功能開關(guān)，根據(jù)設(shè)定的開、關(guān)時間（可在參數(shù)設(shè)置畫面修改）來控制上下風(fēng)閥的打開和關(guān)閉，正常情況下不使用。
? 故障復(fù)位：恒溫有故障報警時，可點擊復(fù)位。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 啟動：點擊啟動自動補液運行，上方標(biāo)題框背景由黑變綠。
? 停止：點擊停止自動補液運行，上方標(biāo)題框背景由綠變黑。
? 故障復(fù)位：普通補液系統(tǒng)故障報警點擊可復(fù)位；特殊故障報警，需要查明故障原因并處理及確認(rèn)后長按3秒復(fù)位。
? 換源開關(guān)：當(dāng)大源瓶需要拆卸更換時，點擊此開關(guān)，詳見換源操作步驟。
? 檢漏開關(guān)：需要對補液管路系統(tǒng)測漏時，點擊此開關(guān)，詳見檢漏操作步驟。
? YV1-YV25氣動閥：滿足條件狀態(tài)下可點擊圖標(biāo)手動開/關(guān)操作。
? 小源瓶開關(guān)： 點擊小源瓶圖標(biāo)可切換小源瓶使用狀態(tài)，顯示禁用圖標(biāo)為不使用狀態(tài)，無顯示禁用圖標(biāo)為使用狀態(tài)，使用狀態(tài)可以正常補液及顯示相關(guān)報警，不使用狀態(tài)不能補液且屏蔽所有相關(guān)報警。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 大源瓶當(dāng)前重量：用于大源瓶參數(shù)設(shè)置時作為基數(shù)參考。
? 小源瓶當(dāng)前重量：用于小源瓶參數(shù)設(shè)置時作為基數(shù)參考。
? 寫入并保存：參數(shù)設(shè)置完成后點擊寫入寄存器并進(jìn)行掉電保存。
? 溫度設(shè)定：設(shè)定柜內(nèi)恒溫溫度值。
? 報警氣體：設(shè)定柜內(nèi)氣體監(jiān)測報警值。
? 屏保時間：設(shè)定多長時間持續(xù)無操作后屏幕保護(hù)退出返回首頁。
? 延時關(guān)閉風(fēng)閥：設(shè)定氣體異?；謴?fù)后風(fēng)閥延時多長時間自動關(guān)閉。
? 定時打開風(fēng)閥：設(shè)定柜內(nèi)定時換氣功能風(fēng)閥關(guān)閉時間。
? 風(fēng)閥打開時間：設(shè)定柜內(nèi)定時換氣功能風(fēng)閥打開時間。
? 大源瓶空重：設(shè)定參數(shù)用于檢測大源瓶有無存在，作為自動補液重要條件之一。
? 換源吹洗時間：設(shè)定更換大源瓶前需要使用氮氣對出液管路進(jìn)行吹洗時間。
? 補液吹洗時間：設(shè)定補完液需要使用氮氣對補液管路進(jìn)行吹洗時間。
? 小源瓶空重：設(shè)定參數(shù)用于檢測小源瓶有無存在，作為自動補液重要條件之一。
? 小源瓶補液點：設(shè)定小源瓶補液起點值。
? 小源瓶補液目標(biāo)：設(shè)定小源瓶補液目標(biāo)值。
? 小源瓶高液位報警：設(shè)定參數(shù)用于小源瓶異常高液位報警提示。
? 小源瓶低液位報警：設(shè)定參數(shù)用于小源瓶異常低液位報警提示。
? 補差：此參數(shù)用于程序更新時數(shù)據(jù)被覆蓋需二次輸入，用戶無需設(shè)定或修改。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 曲線圖：用于實時監(jiān)視當(dāng)前溫度、設(shè)定溫度、當(dāng)前氣體數(shù)據(jù)變化情況。
? 暫停：點擊可使曲線圖暫停記錄，再次點擊按當(dāng)前數(shù)據(jù)記錄。
? 清屏：點擊可使曲線圖清空，然后采集新數(shù)據(jù)記錄。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 曲線圖：可以實時監(jiān)視和查詢當(dāng)前溫度、設(shè)定溫度、當(dāng)前氣體數(shù)據(jù)變化記錄情況。
? XY軸控件：點擊可使曲線在圖中調(diào)整位置利于查看。
? 時間設(shè)置：可以按日期時間輸入查詢過去的數(shù)據(jù)記錄曲線。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 補液記錄：可以查看過去發(fā)生的補液事件，下方有記錄總條數(shù)。
? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。
? 補液量：顯示每個小源瓶次補液量。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 報警記錄：可以查看過去發(fā)生的報警事件，下方有記錄總條數(shù)。
? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。
? 返回首頁：點擊返回首頁。
? 綠燈閃亮: 單開啟恒溫或自動補液且報警。
? 綠燈常亮: 恒溫和自動補液都開啟且報警。
? 黃燈常亮: 補液狀態(tài)且報警。
? 紅燈閃亮 + 蜂鳴器: 故障報警狀態(tài)。
? 如有報警先檢查并處理。
? 進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫面。
? 檢查參數(shù)是否正確。
? 進(jìn)入恒溫控制畫面。
? 點擊啟動按鈕恒溫運行。
? 點擊停止按鈕恒溫停止。
? 緊急情況按急停開關(guān)。
? 如有報警先檢查并處理。
? 進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置畫面。
? 檢查參數(shù)是否正確。
? 進(jìn)入補液控制畫面。
? 點擊啟動按鈕運行自動補液。
? 點擊小源瓶使用開關(guān)。
? 點擊停止按鈕停止自動補液。
? 緊急情況按急停開關(guān)。
? 做好防護(hù)措施。
? 準(zhǔn)備好大源瓶。
? 如有報警先檢查并處理。
? 點擊停止按鈕停止自動補液。
? 點擊換源開關(guān)。
? 等待管路吹洗完成。
? 打開柜門更換源瓶。
? 檢查接管是否正確。
? 檢查接頭是否上緊。
? 關(guān)上柜門。
? 關(guān)閉換源開關(guān)。
? 如有報警先檢查并處理。
? 進(jìn)入補液控制畫面。
? 點擊停止按鈕停止自動補液。
? 點擊檢漏開關(guān)。
? 等待檢漏結(jié)果。
序號 | 報警內(nèi)容 | 故障原因分析 | 故障處理 | |
1 | 壓縮機故障 | 壓縮機過載 | 接線不良、電源欠壓、機械磨損等、熱繼誤動作 | 請檢查具體原因并做相應(yīng)處理， 如需要請更換相應(yīng)部件。 |
2 | 壓縮機低壓 | 接線不良、雪種不足或泄漏、壓力開關(guān)壞等 | ||
3 | 壓縮機高壓 | 接線不良、冷凝器臟堵、散熱不良、壓力開關(guān)壞等 | ||
4 | 循環(huán)風(fēng)機過載 | 接線不良、電源欠壓、機械磨損等、熱繼誤動作 | ||
5 | 溫度通訊故障 | 接線不良或錯誤、通訊參數(shù)錯誤、儀表損壞 | ||
6 | 溫度傳感器異常 | 接線不良、儀表或探頭損壞 | ||
7 | 恒溫故障 | 無法達(dá)到設(shè)定溫度：制冷或加熱問題 | ||
8 | 溫度異常 | 溫度波動大：柜門打開、制冷或加熱問題 | ||
9 | 氣體通訊故障 | 接線不良或錯誤、通訊參數(shù)錯誤、儀表損壞 | ||
10 | 氣體異常 | 氣體泄漏、儀表或探頭損壞 | ||
11 | 急停開關(guān)按下 | 急停開關(guān)被按下、接線不良、開關(guān)觸頭損壞 | ||
12 | PLC通訊故障 | 網(wǎng)線松動、交換機故障、主機或通訊口損壞 | ||
提示：遇到無法解決的問題時請聯(lián)系設(shè)備廠家！
序號 | 報警內(nèi)容 | 故障原因分析 | 故障處理 |
1 | 大源瓶通訊故障 | 接線不良或錯誤、通訊參數(shù)錯誤、儀表損壞 | 請檢查具體原因 并做相應(yīng)處理， 如需要請更換相應(yīng)部件。 |
2 | 大源瓶參數(shù)錯誤 | 參數(shù)設(shè)置超出限值范圍 | |
3 | 大源瓶缺失 | 空重值設(shè)置過大、大源瓶提起或取出 | |
4 | 小源瓶參數(shù)錯誤 | 參數(shù)設(shè)置超出限值范圍 | |
5 | 氮氣異常 | 氮氣未通氣、壓力過高或過低 | |
6 | 空壓氣異常 | 空壓氣未通氣、壓力過高或過低 | |
7 | 壓力通訊故障 | 接線不良或錯誤、通訊參數(shù)錯誤、儀表損壞 | |
8 | 氮氣壓力過高 | 二級調(diào)壓過大或調(diào)壓閥損壞 | |
9 | 大源瓶管路接反、缺液或氮氣壓力不足 | 大源瓶進(jìn)出管接反、源缺液、 補液管路泄漏或氮氣壓力不足 | |
10 | 補液管路泄漏 | 補液管路泄漏或氮氣壓力不足 | |
11 | 補液時間超時 | 補液量設(shè)置過大、缺液或氮氣壓力不足 | |
12 | 小源瓶1～6通訊故障 | 接線不良或錯誤、通訊參數(shù)錯誤、儀表損壞 | |
13 | 小源瓶1～6液位過低 | 源瓶液位過低、參數(shù)設(shè)置過高 | |
14 | 小源瓶1～6液位過高 | 源瓶液位過高、參數(shù)設(shè)置過低 | |
15 | 補液故障 | 其它原因?qū)е卵a液故障 | |
16 | 補液中通訊故障 | 補液中源瓶通訊故障 | |
17 | 補液中做工藝 | 補液中做工藝 | |
18 | 補液中重量突變 | 補液中源瓶被提起或爆瓶 | |
19 | 氮氣壓力不足 | 氮氣未通氣或調(diào)壓過低 | |
20 | 檢漏失敗 | 氮氣壓力不足或有泄漏 | |
21 | 補液量異常 | 補液差補為0、其它補液故障、儀表故障 |
? 非專業(yè)人員，不得操作設(shè)備電氣部分。
? 上電開機前應(yīng)該檢查設(shè)備是否具備條件。
? 次上電，先檢查電源接線、電壓是否正常，否則可能造成設(shè)備嚴(yán)重?fù)p壞。
? 除了可操作的部位，其它地方不可觸碰，避免觸電或其它危險。
? 非專業(yè)人員，不得操作設(shè)備電氣部分。
? 長時間停機應(yīng)該關(guān)掉電源。
? 關(guān)電后不能立即上電，請稍等幾分鐘。
? 人員未經(jīng)培訓(xùn)，不得操作設(shè)備。
? 嚴(yán)格按照培訓(xùn)規(guī)范操作設(shè)備。
? 柜內(nèi)放置高危源液，柜子嚴(yán)禁撞擊損壞等。
? 設(shè)備參數(shù)應(yīng)根據(jù)實際需要設(shè)置。
? 氮氣、空壓氣壓力一經(jīng)調(diào)好，請勿隨意調(diào)節(jié)。
? 長期打開柜門或上下風(fēng)閥，容易產(chǎn)生冷凝水和溫度流失。
? 不能隨意打開柜門，需要打開時先打開上下風(fēng)閥，抽排更新柜內(nèi)空氣。
? 更換大源瓶時：要做好防護(hù)措施、拆開的管件應(yīng)放置好不能強扯彎折或隨意甩放、大源瓶搬運時要小心以及輕拿輕放防止壓壞稱重部件、進(jìn)出管不能接反、接頭要上緊、換源的過程中嚴(yán)禁觸摸屏上其它操作。
? 大源瓶進(jìn)出管接反時將無法自動補液，系統(tǒng)保護(hù)并報警；此時不能強制解除保護(hù)、不能點擊換源開關(guān)再次換源操作，也不能手動強制吹洗；應(yīng)先停止自動補液，在進(jìn)出管沒有余液的情況下關(guān)閉大源瓶進(jìn)出手閥，然后對調(diào)進(jìn)出管(如果有余液,請聯(lián)系廠家技術(shù)指導(dǎo)操作)。
? 手動補液時一定要時刻留意小源瓶的液位變化情況，不能多補，防止補液后吹洗時會影響工藝。
? 小源瓶液位過高嚴(yán)禁對其進(jìn)行補液，防止補液后吹洗時會影響工藝。
? 不能在工藝的情況下做相關(guān)影響的手動強制動作。
? 發(fā)現(xiàn)設(shè)備有故障或安全隱患時要及時停機處理，不能帶安全隱患使用。
? 系統(tǒng)提示需要確認(rèn)時，不能隨便點擊確認(rèn)，要認(rèn)真負(fù)責(zé)。
? 復(fù)位故障時一定要先了解情況或問題解決后才能復(fù)位。
? 查看設(shè)備運行狀況，如有故障及時處理。
? 查看柜內(nèi)是否正常。
? 查看外部小源瓶液位是否正常、補液是否正常。
? 查看外部補液管路、閥門是否正常。
? 設(shè)備正常使用時檢修周期為每年一次，檢修內(nèi)容包括柜內(nèi)所有電氣部件的（檢查、清潔、維修、更換）和氣體檢測探頭的校驗。
? 及時疏散現(xiàn)場人員。
? 做好防護(hù)措施。
? 停止設(shè)備運行。
? 打開內(nèi)外尾氣抽風(fēng)系統(tǒng)。
? 及時把泄漏的危險品收集清理干凈并轉(zhuǎn)移妥善處理。
? 修復(fù)現(xiàn)場、更換部件等。
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